真空系統(tǒng)和泵

擴(kuò)散泵

除非您觀察到與擴(kuò)散泵油相關(guān)的故障，否則沒(méi)有必要在一年內(nèi)換兩次擴(kuò)散泵油。要檢查擴(kuò)
散泵油，必須先將MSD 放空（5975/5973 除外）。因此，檢查泵油的最好時(shí)機(jī)是為了進(jìn)行其
他維護(hù)而已經(jīng)放空儀器真空時(shí)。

前級(jí)泵

前級(jí)泵油通常每六個(gè)月更換一次，但要根據(jù)應(yīng)用情況而改變。泵油更換后，如果有前級(jí)捕
集器，則應(yīng)更換分子篩。

避免接觸到泵油。某些樣品的殘留物可能有毒。用過(guò)的泵油要妥善處理。